PLF系列壓電掃描納米位移臺(tái)
SMARFLEX納米掃描位移臺(tái)，采用壓電驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)掃描范圍可高達(dá)幾百μm的高精度定位。對(duì)于AFM這類掃描應(yīng)用，SMARFLEX可提供極大的掃描速度和極小的掃描誤差。對(duì)于光學(xué)顯微應(yīng)用，SMARFLEX可用于精確聚焦及光纖耦合等場(chǎng)景。
| 型號(hào) | 掃描范圍 | 負(fù)載 | 尺寸 | 掃描方向 |
| PLF-3232-x.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 12 mm3 | X |
| PLF-3232-xy.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 20 mm3 | X，Y |
| PLF-3232-z.60 | > 60μm | 5N | 32 x 32 x 15 mm3 | Z |
| PLF-5252-x.200 | > 200μm | 5N | 52 x 52 x 15 mm3 | X |
可選材質(zhì)：Titanium(-TI) / Aluminum base (-Al)
相關(guān)產(chǎn)品
