

| 機械參數 | |
| 行程(mm) | 99, 179, 259, 379, 499, 619 |
| 導軌長度(mm) | 160 – 680 |
| 開環參數 | |
| 速度(mm/s) | >15 |
| 開環分辨率(MCS2控制器) | <1nm |
| 開環分辨率(HCU/CU控制器) | 50nm |
| 閉環參數 | |
| 傳感器分辨率(MCS2控制器) | 1nm (-S), 4nm (-L) |
| 單向運動重復性(MCS2控制器) | ±100nm (-S) |
| 選項 | |
| 材料和機械選項 | 多滑塊,沉孔,M4螺紋孔 |
| 真空兼容度 | HV (1E-6 mbar); UHV (1E-11 mbar) |
| 產品特點 | |
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| 應用領域 | |
| ? 光學研究: 電動光闌、狹縫、濾光片輪、光纖準直、鏡片調節 ? 掃描電鏡/光學/原子力顯微鏡:樣品、探測器/光源定位、樣品操作 ? 自動化控制:低成本、超小體積、高精度、模塊化、直接集成 ? 材料應用:缺口測量、張力、微小壓縮測量、刮痕彎曲等測量 ? 天文、航天航空: 高加速度、低壓、低溫條件下控制 ? 度量衡學:長度測量、厚度測量、坐標測量、位置計量 ? 生命科學:細胞操作、膜片鉗、計數&分選 |