對于尺寸要求極致最小化的應用場景,SmarAct提供緊湊的高分辨率定位方案。

德國SmarAct公司,專注于提供微納級精密定位和測量相關產品高端解決方案。利用其獨特的Stick-Slip驅動技術,強大的激光干涉儀檢測技術,可提供從一維到多維的位移臺乃至復雜的小型機器人系統,廣泛應用于光學、生命科學、微組裝系統、半導體和顯微鏡領域。
對于尺寸要求極致最小化的應用場景,SmarAct提供緊湊的高分辨率定位方案。
當需要對樣品、工具或實驗設備精確定位時,通常需要多個自由度的復雜系統。
對于位移和振動,SmarAct提供靈活強大的精密測量方案。
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Ⅰ. 壓電驅動器通過和其連接一個摩擦元件與導軌或者軸承的滑動模塊接觸,壓電驅動器本身安裝于一個固定的組件。
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Stick-Slip摩擦元件長期工作會產生磨損,SmarAct通過升級EDU(Exchangeable Drive-Units)解決此問題,CLS系列直線納米位移臺均采用該技術。位移臺/系統不需返廠維修,由于SmarAct的出場預置,用戶可自行更換驅動器,降低更換的維護成本和時間成本。

SMARSHIFT電磁直接驅動(Electromagnetic Direct-Drives Technology)MLS系列位移臺,裝配非接觸式線性馬達作為驅動,無磨損。適用于需要體積緊湊、高速、高動力及納米精度同時滿足的應用場景,電磁驅動可以實現1m/s的移動速度。

SmarAct推出SMARFLEX納米掃描位移臺,采用壓電驅動實現掃描范圍可高達幾百μm的高精度定位。對于AFM這類掃描應用,SMARFLEX可提供極大的掃描速度和極小的掃描誤差。對于光學顯微應用,SMARFLEX可用于精確聚焦及光纖耦合等場景。
基于Stick-Slip的直線位移臺、旋轉臺和角位移臺。
基于高精度電磁電機的位移臺。
采用壓電驅動實現掃描范圍可高達幾百μm的高精度定位。
可工作于mK溫度范圍。
適用于高磁場環境或帶電粒子相關應用。
真空兼容(HV/UHV)-可加熱至130℃
模塊式系統允許將兼容的位移臺組裝成復雜系統,且可實現再組裝。
2-4個自由度模塊式系統。
Hexapod-like定位系統,6自由度,可定義基準點。
Hexapod-like系統,兼具串行和并行運動方式。
靈活、高精度6自由度定位系統。
顯微樣品精確定位及微操系統。
高精度位移測量。
小樣品模態分析。
Metirio 系列提供極其緊湊的光學編碼器,具有亞納米級分辨。
半導體器件的電學性質表征。
生命科學及光學顯微鏡領域的高精度、可靠解決方案
用于同步加速器光束線站及多用戶終端站的高精密、堅固解決方案
用于高分辨率3D打印,電子或掃描探針顯微鏡,納米工程,光譜學,衍射儀和量子計算應用
堅固可靠的工業研發設備.061